台積電1.4奈米廠將動工!外媒曝不用ASML「最新曝光機」原因 研發靠一招土法煉鋼
台積電將於2025年底啟動2奈米製程量產,同時也持續往更先進的1.4奈米邁進,根據科技媒體《Wccftech》報導,台積電將在台灣本地展開1.4奈米生產線的初步建設,但值得注意的是,其不打算採用艾司摩爾(ASML)最新的高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)曝光機,讓台積電在研發A14時,必須不斷採行試錯法來改進製程。
報導指出,台積電計畫於今年底在台中動工興建1.4奈米新廠,預計2028年下半年實現量產,與先前外界推測的時程一致,同時A14製程也可望讓晶片功耗再降低30%。目前台中廠已開始招募人力,3棟廠房的建照也已於8月核發,初期投資金額可能高達490億美元(1.5兆新台幣),其中有相當一部分,將用於在2027年採購約30台EUV曝光機。
報導提到,科技分析師Dan Nystedt在X透露,台積電不會購買ASML的High-NA EUV曝光機,原因在於這些機台售價昂貴,單價高達4億美元。台積電日前也曾表示,現有EUV設備已足以支援1.4奈米量產。
報導分析,台積電可能會採用複雜的多重曝光(multi-patterning)技術,來達成1.4奈米的製程目標,不過這種替代方案的缺點在於製程複雜、耗時且初期良率較低,讓台積電可能需要不斷透過「試錯法」,來逐步改善A14製程。
報導表示,這種方法與中芯開發5奈米製程採用的方式類似,但台積電與中芯不同的是,台積電擁有成熟的EUV設備與技術經驗,且距離量產仍有數年的準備時間,可望持續優化製程,鞏固其在全球半導體產業的領先地位。
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