研院研服平台亮成果 明交大特

明交大子所助理教授曾率用半中心研服平台，矽在深紫外光（DUV）照射下展表面化子效，成新一代紫外光晶片的理想材料，可提供前瞻奈米材料分析生在用。

研院今天「研服平台亮成果」，明交通大子研究所助理教授曾的研究得特，抱走金30元。

明交大研究成果「半超介面矽光子、紫外光及生之用」，所使用的研服平台是台半研究中心「超透程平台」。

曾表示，矽是代半的核心材料，但在深紫外光（DUV）下展的奇特性，至今仍少有人加以用，因此他投入研究，揭示其中的力。理分析量，矽在深紫外光照射下，展出表面化子效（surfacepolariton），大幅增光物之的交互作用，的象可泛用於生材料分析。

曾一步指出，研究矽浸泡於生物分子水溶液後，在紫外光照射下，矽晶片能使生分子的自光增3至4倍；在材料科上，可使二材料的共振拉曼提升近10倍。更重要的是，矽具耐酸耐高特性，加上成熟程技，能成新一代紫外光晶片的理想材料。

曾也深紫外光氮化超透，可解析微，京大合作，使用深紫外超快雷射造出矽的微奈米，氮化超透在深紫外光工用的力。

研院指出，本研服平台亮成果共4支等，包含台大土木工程系特聘教授周中哲、中央研究院用科研究中心研究包淳、清大奈米工程微系研究所清座教授李，以及成功大物理系教授泰榕，分使用震中心、中心、半中心及中心服。