內部畫面震撼曝光！台積電美廠「銀色高速公路」超壯觀

台積電日前公布了一段影片，藉由這支影片，外界得以一窺其位於美國亞利桑那州鳳凰城附近的Fab 21晶圓廠內部是如何運作的。值得注意的是，外媒還以「銀色高速公路」形容台積電的自動化物流搬運系統。

據資訊科技網站Tom's Hardware報導，在影片中，可以看到有數百台高科技設備正在有條不紊地製造晶片。報導指出，該工廠的「鎮廠之寶」是艾司摩爾（ASML）的Twinscan NXE極紫外光（EUV）微影設備，該設備可以生產輝達Blackwell B300處理器等晶片中最複雜的電路。

在影片的開頭，可以看到通往無塵室的通道，無塵室採用黃色照明，可以濾除較短的波長，防止光阻劑意外曝光。接著，影片展示了所謂的「銀色高速公路」，即台積電的自動化物料搬運系統 （AMHS）。該系統由高架軌道組成，用於運輸裝載12吋晶圓的前開式晶圓傳送盒 （FOUP）。畫面中數百個傳送盒的運作，展現了廠內物流體系是如何精密且高效的運作，這對於在高產量製造的環境中保持生產周期非常重要。

Tom's Hardware指出，這個影片聚焦於ASML的EUV 微影設備（可能是 Twinscan NXE:3600D），並形容是以類似電影「奧本海默」的風格，呈現出如何在晶圓上「印」上圖案。這套EUV設備使用二氧化碳雷射轟擊錫滴液產生電漿，進而輻射出13.5奈米的極紫外光照射晶圓，能在單次曝光中形成解析度低至13奈米間距的精密電路圖樣。

影片中也提到了目前EUV技術面臨的挑戰，包括奈米等級的精密對準要求、隨機效應問題，以及因EUV光會被傳統光學鏡片吸收而必須採用多面鏡反射技術。這支影片雖未展示台積電為提升性能而訂製的晶圓載物台和防護膜，但據了解，這些EUV設備的關鍵組件確實存在於Fab 21 一期廠使用的設備系統中。

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