（中央社者朱台北6日）研院科中心在今年台半展中，展出自行研的ALD膜系及可助半先系新材的「原子沉合室」服平台。
2018半展5日到7日在南港展行，共超2000位，家研究院器科技研究中心也展，展出自行研的成果。
研院今天透新稿表示，了因界於半程尺寸微需求，以及米科技於多元科技用展，科中心深耕原子沉技（ALD）10多年，已提供界界多套自ALD系，展出自行研的「子微片子防膜系」，是一桌上型ALD膜系，小尺寸片探超薄奈米，具高密度表面保膜品，可用於生物片原子解析度三重片。
除客化ALD台外，科中心的「原子沉合室」服平台提供前物材料合成及、程技，助半先系新材。
研院指出，科中心近年全力投入半零件自，透在光及真空域深耕逾40年的技能量，半行合，上下游零件在地化展，提升台半的力。（：郭萍英）1070906
