扩散泵：一种用于获得高真空的泵，利用高速喷射的热蒸汽（常为油蒸汽或汞蒸汽）把气体分子“拖带”并向下输送到出口，再由前级泵（粗抽泵）排走。其特点是可达很低的压力、结构相对简单，但需要预抽真空且可能存在返油污染风险。
/dafjun pmp/
A diffusion pump helps create a high vacuum in the chamber.
扩散泵有助于在腔体内形成高真空。
After the system was pre-pumped, the diffusion pump was heated and stabilized to reach the target pressure for thin-film deposition.
系统完成预抽后，加热并稳定扩散泵，以达到薄膜沉积所需的目标压力。
“Diffusion”源自拉丁语 diffundere（意为“散开、扩散”），在科学语境中指分子无规则运动导致的扩散现象；“pump”来自中古英语 pompe（泵、抽送装置）。合起来的“diffusion pump”强调其通过分子运动与蒸汽射流的动量传递来实现抽气的工作方式。
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